如何在纳米尺度雕刻芯片?

在加工 5 纳米制程芯片时,允许的缺陷相当于在北京五环内,最多只能有两个芝麻大小的多余颗粒。芯片制造要想做到如此严苛的精度控制到底有多难?IOS链接

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